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UMS130-X 系列（超高精度直線電機(jī)平臺(tái)）
一維直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
所屬分類：
詳細(xì)介紹
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參數(shù)\型號(hào) |
UMS130-60X |
-110X |
-160X |
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電機(jī)類型 |
三相無鐵芯電機(jī) |
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光柵類型 |
增量式光柵0.1um（可選最高1nm光柵，絕對(duì)式選配） |
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電機(jī)推力 |
額定40N 峰值90N |
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加速度（空載） |
3G |
2.5G |
2G |
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限位類型 |
機(jī)械、光電、軟件（三重限位保護(hù)） |
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材質(zhì) |
鋁合金6061-T6（可選不銹鋼） |
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行程 mm |
60 |
110 |
160 |
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定位精度 um |
±3um（校準(zhǔn)±0.5um） |
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重復(fù)定位精度 um |
±0.1um（±50nm 對(duì)應(yīng)5nm以上光柵） |
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最大速度 mm/s |
300mm/s |
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最大負(fù)載 kg |
6 |
8 |
12 |
關(guān)鍵詞:
吉螢光電
在線詢價(jià)
服務(wù)熱線：
量身定制各種光電行業(yè)產(chǎn)品及方案
長春吉螢光電科技有限公司
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